常见的洁净室洁净度等级列表

净化车间级别一般分为M3.5、M4.5、M5.5和M6.54。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。洁净室对于净化空调系统的加湿问题而言，常用的加湿方法有很多种，有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿，这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极（电热）加湿是向空调送风中喷蒸汽，其加湿方法属等温加湿过程。无尘车间目前级别最高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。但是，根据不同行业的不同工作流程，所需的级别也不同。例如，在半导体制造厂等地，根据操作内容，有一个M1M5.5净化室。另外，在制药厂，根据产品的纯度和操作规程，洁净室的面积从M3.5到M6.5不等。因此，各行业所需的洁净度是不同的。

关于一般职等，表11可作为参考。

表11.每个行业所需净化车间级别概览

领域和产业

洁净度标准

内容

SI

English unit

半导体工业

掩模板对准工艺

M3.5

100

刻蚀工艺

M3.5

100

腐蚀加工

扩散工艺

M3.5

100

高纯度扩散

蒸着工艺

M3.5

100

高纯度电镀

涂布工艺

M3.5

100

感光剂涂布

电子设备

计算器制造

M5.5

10,000

磁头

阴极射线管

M5.5

10,000,

遮屏

磁带

M5.5

10,000

防止杂音

精密仪器

陀螺、微型轴承

M5.5

10,000

提高精度

导弹部件、继电器

M5.5

10,000

防止误动作

钟表、小型计量仪器

M5.5

10,000

组立、封装、修理

光学、印刷

照相机、印刷电路板

M5.5

10,000

制作

镜头、胶片

M4.5

1,000

连接

电子制版

M5.5

10,000

制作、检查

化学药品

注射液充填

M3.5

100

调和、充填

无菌动物养育

M3.5

100

SPF

化学药品

抗生物

M5.5

10,000

充填、检查

一般医疗品

M6.5

100,000

制造

食品

酿造、发酵

M5.5

10,000

防止酱油、大酱腐坏

乳制品、生食品

M6.5

100,000

防止酸乳酪变质

食肉加工

M5.5

10,000

火腿、香肠

搅拌(弄成糊状)食品

M5.5

10,000

当食物冷却时，搅拌冷冻的圆柱形，半圆形鱼，鱼，山楂球和其他食物不会冷却。

医疗

手术室

M3.5

100

股关节手术、脏器移植

特殊治疗室

M3.5

100

白血病、烫伤

恢复、新生儿室

M3.5

10,000

早产儿、术后防止感染

临床检查

M5.5

10,000

菌类培植、检查

农林畜产

蘑菇栽培

M5.5

10,000

防止蘑菇菌株被杂菌感染

植物

M6.5

100,000

兰花栽培

养殖

M5.