天水无尘室洁净度检测标准参考

   规定无尘室洁净区的控制指标和检测方法，有效的控制十万级和三十万级洁净区环境的洁净度，满足生产环境的要求。

2　范围

   本规程适用本公司十万级和三十万级洁净区环境的洁净度检验。

3　检验方法

3.1　检验项目

   温度、湿度、压差、风速（换气次数）、尘埃粒子数、菌落数

3.2　温度、湿度

3.2.1　要求

   十万级/三十万级洁净区温度（18-26）℃，相对湿度（45-65）%

3.2.2　仪器与设备

   温湿度计

3.2.3　操作方法

   目测温湿度计。

3.2.4　测定频次 

1次/班。

3.3　静压差

3.3.1　要求

洁净室与室外压差≥10Pa，洁净室与非洁净室≥5Pa不同级别洁净室之间≥5Pa。

3.3.2　仪器与设备：补偿式微压计

3.3.3　操作方法

   用补偿式微压计测试各室的静压力，由两室静压力之差，为静压差。

3.3.4　测定频次：1次/月

3.4　换气次数

3.4.1　要求

   十万级洁净区换气次数>15次

三十万级洁净区换气次数>12次

3.4.2　仪器与设备：热球式电风速计。

3.4.3　操作方法距风口下25cm处测量

3.4.3.1　用风速计风速，采样点为风口的四个顶角及中心位置（不少于5点）。计算5个点风速平均值。为一个风口的风速。

3.4.3.2　换算公式：

                  ∑（高效风口风速×高效风口面积）

    换气次数= ──────────────────

                              被测间体积

3.4.4　测定频次：1次/月

3.5　尘埃粒子数

3.5.1　要求

十万级洁净区尘埃粒子数： ≥0.5μm：≤3500个/L

                         ≥5.0μm：≤20个/L

三十万级洁净区尘埃粒子数：≥0.5μm：≤10500个/L

≥5.0μm：≤60个/L

3.5.2　仪器与设备：尘埃粒子计数仪

3.5.3　采样点

根据面积，要求最少采样点见下表：

3.5.4　操作方法

用尘埃粒子计数仪在高度1米水平面上的位置采样，每层采样点不少于5点，每个采样点采样次数不少于5次。采样点见附件1。  

3.5.5　换算公式

             5次测量数的总和

尘埃粒子数= ─────────

                   5

3.5.6　测定频次 ：1次/季

3.6　菌落数

3.6.1　要求

  浮游菌 十万级洁净区含菌浓度≤500个/m3

  沉降菌 十万级洁净区含菌浓度≤10个/皿

          三十万级洁净区含菌浓度≤15个/皿

3.6.2　检测方法

按《微生物检验规范》的规定进行。

3.6.5　测定频次：浮游菌 1次/季；沉降菌 1次/周

4　测定条件

4.1　当新洁净区投入使用前，进行一次静态环境监测，监测时，洁净区内所有物品均应到位，检测区内只留检测人员，检测结果应符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的要求。如不合格应重新对净化系统进行检查，查找原因，进行整改后，再进行检测，合格后方可投入使用，否则不得进入生产。

4.2　所有在用洁净区，按本规程的要求进行动态检测，检测结果应符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1条的要求。如不合格由技术品质部告知生产部，通知超标车间停产，由生产部、技术品质部、生产车间组织人员查找原因，进行整改后，再进行检测，合格后方可投入使用。

附件1 尘埃粒子检测点

附件2 沉降菌检测点

附件3 浮游菌检测点

原文