青岛洁净室清空状态静态动态检测标准

术语：

在洁净室设计规范GB50073-2001中，对洁净室进行了以下三种定义：

空气竣工洁净室试验

设施已建成，全部电力连接和运行，但没有生产设备、材料和人员。无菌车间大部分净化厂房尤其电子工业用的洁净厂房都有严格的恒温、恒湿的要求，不仅对厂房内的温、湿度有严格的要求，而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。无尘车间目前级别最高的当属航天航空的航空仓，基本是属于1级，属于特殊领域，面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间，物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理，均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理，可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。

静态 at-rest

该设施已经完工，生产设备已在业主和工匠的同意下安装和操作，但没有生产人员。

动态 operational

该设施处于规定的运行状态，具有指定人员并在商定的状态下工作。

根据ISO14644，洁净室试验阶段划分如下：

检测洁净室的安装(iq)

静态洁净室运行质量检测（OQ）

动态洁净室测试性能认证（PQ）

空洁净室检查（IQ）

检查空的清洗室和安装的设备是否符合设计，并至少检查以下各点：

一、洁净室设备组；

2.所有能量载体和过程介质的供应是否符合设计要求;

三。公用及辅助设备功能是否正常运行；

4、于是控制系统、监视器、报警报警核实日期；

5、安装质量；

6.安装过滤器的完整性；

7.电源和设备是否备份，包括空气处理设备的风量;

8、压差；

9、气流特性；

10。保持结构的限制；

检查循环空气与室外空气的比例是否符合设计要求；

12、表面洁净度；

13、包内是否有备件。

检查HEPA过滤器的完整性非常重要，这对ISO6，ISO5和更高级的净化设备尤其重要。应检查表面洁净度和维护结构的密封性。

静电洁净室检测

这一阶段的测试至少应完成以下工作：

1.确认洁净区域划分原则是否符合要求；

2.确定污染程度增加后洁净室的自洁时间参数;

三。测定温度和相对湿度的稳定性。

4、根据颗粒的数量来确定洁净度水平；

5、确定压差；

6.表面洁净度应根据所需部位的颗粒和微生物污染水平来确定；

7、确定照度；

8、确定噪声级；

9.目视检查气流并使用必要的工具检查换气次数;

10。将数据结果写入书面文档。