内的检测工具主要有哪些？

1.温度

无尘室内温度是指室内环境空气的温度，单位以摄氏度(℃)表示。可以使用玻璃温度计、数字式(包括热电偶、热电阻、半导体式)温度计测定室内温度，也可以使用干湿球湿度计、数字式湿度计和风速计所附的温度计。要求温度计测试范围应在-10℃至50℃，准确度为±0.3℃。

注意

1)   读数时视线必须与标尺垂直，并与液柱面处于同一水平面。

2)   读数时不可用手摸标尺或将温度计取出插孔，更不允许用手握住温包来读数，否则将造成极大的误差。

2.相对湿度

湿度是指空气中水分的含量。有两种表示方法：(1)绝对湿度：单位体积空气中所含水气的质量；(2)相对湿度(RH)：空气中实际水气压与同一温度条件下饱和水气压之比值，单位用%表示。湿度一般用相对湿度表示。相对湿度可以使用干湿球温度计、氯化锂露点式湿度计、电容式数字湿度计测定，要求湿度计测试范围应在12%至99%，准确度为±0.3%。

使用方法参见所用仪器的使用说明书。

3.空气流速

室内外温差、压差、人工通风、空调、室内热源等都可引起空气流动，同室外气流一样对污染物有稀释和扩散作用。空气流速可用热球式电风速计和热线式电风速计测量，要求风速计测试范围应在0.01 m/s至20m/s，准确度为±5%。

使用方法参见仪器使用说明书。

4.新风量

（一）原理

采用示踪气体浓度衰减法。在待测室内通入适量示踪气体，由于室内、外空气交换，示踪气体的浓度呈指数衰减，根据浓度随时间的变化值，计算出室内的新风量。

（二）仪器和材料

1)  袖珍或轻便型气体浓度测定仪。

2)  尺、摇摆电扇。

3)  示踪气体：无色、无味、使用浓度无毒、安全、环境本底低、易采样、易分

析的气体。

表2示踪气体环境本底水平及安全性资料

5.专业生产设备之选择、布置与保养

a.要选用发尘性较少的生产设备及相关设备，尤其须注意活动部分之发尘。

b.应选择尘埃之影响较小的生产设备或接口设备。

c.生产用之水、气体、药品等往往是造成污染的原因，故应配备过滤装置。

d.规划各设备之配置空间时，事先宜考虑不易积累微尘之结构，规划各并以容易清洁为原则。

e.真空泵等容易产生污染物的这类设备，应设置在无尘室外面或回风区，并加装排气管线排气。

f.设置给水管线、气体管线和电气系统时，其构造须考虑到容易清洁，不易积累污染物。

g.生产及相关设备应定期清扫，以避免微尘之堆积。

h.应加强注意室内的温湿度控制，避免因湿度之不当造成结露生锈。

i.当设备维修时易产生微尘粒子，故维修时尽量于清洁室外进行，并加隔离栅隔离。

j.对于施工或维修之厂商，应告知进出无尘室之各项规定，且负责工程师应随侍在侧监工。

k.应有无尘室专用工具组，但不得带出无尘室外使用。