发布时间:2023-07-16 21:43:32 人气:1876
湿度过高产生的问题更多。净化等级尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数,500,≥5μm尘粒数0,微生物最大允许数浮游菌/立方米5,沉降菌/皿1。绝对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,假如产生在精巧装置或电路中,就会引起各种事变。绝对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片名义粘着的灰尘化学吸附在名义耐难以清除。绝对湿度越高,粘附的难去掉,但当绝对湿度低于30%时,又因为静电力的作用使粒子也轻易吸附于名义,同时大量半导体器件轻易产生击穿。对硅片生产最佳温度范畴为35—45%。
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