发布时间:2023-11-24 21:46:41 人气:2906
净化车间级别一般分为M3.5、M4.5、M5.5和M6.54。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。洁净室对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。无尘车间目前级别最高的当属航天航空的航空仓,基本是属于1级,属于特殊领域,面积相对较小。另外对级别要求较高的是生化实验室和高精纳米材料生产车间,物联网芯片的发展将是未来需求的一大方向。但是,根据不同行业的不同工作流程,所需的级别也不同。例如,在半导体制造厂等地,根据操作内容,有一个M1M5.5净化室。另外,在制药厂,根据产品的纯度和操作规程,洁净室的面积从M3.5到M6.5不等。因此,各行业所需的洁净度是不同的。
关于一般职等,表11可作为参考。
表11.每个行业所需净化车间级别概览
领域和产业
洁净度标准
内容
SI
English unit
半导体工业
掩模板对准工艺
M3.5
100
刻蚀工艺
M3.5
100
腐蚀加工
扩散工艺
M3.5
100
高纯度扩散
蒸着工艺
M3.5
100
高纯度电镀
涂布工艺
M3.5
100
感光剂涂布
电子设备
计算器制造
M5.5
10,000
磁头
阴极射线管
M5.5
10,000,
遮屏
磁带
M5.5
10,000
防止杂音
精密仪器
陀螺、微型轴承
M5.5
10,000
提高精度
导弹部件、继电器
M5.5
10,000
防止误动作
钟表、小型计量仪器
M5.5
10,000
组立、封装、修理
光学、印刷
照相机、印刷电路板
M5.5
10,000
制作
镜头、胶片
M4.5
1,000
连接
电子制版
M5.5
10,000
制作、检查
化学药品
注射液充填
M3.5
100
调和、充填
无菌动物养育
M3.5
100
SPF
化学药品
抗生物
M5.5
10,000
充填、检查
一般医疗品
M6.5
100,000
制造
食品
酿造、发酵
M5.5
10,000
防止酱油、大酱腐坏
乳制品、生食品
M6.5
100,000
防止酸乳酪变质
食肉加工
M5.5
10,000
火腿、香肠
搅拌(弄成糊状)食品
M5.5
10,000
当食物冷却时,搅拌冷冻的圆柱形,半圆形鱼,鱼,山楂球和其他食物不会冷却。
医疗
手术室
M3.5
100
股关节手术、脏器移植
特殊治疗室
M3.5
100
白血病、烫伤
恢复、新生儿室
M3.5
10,000
早产儿、术后防止感染
临床检查
M5.5
10,000
菌类培植、检查
农林畜产
蘑菇栽培
M5.5
10,000
防止蘑菇菌株被杂菌感染
植物
M6.5
100,000
兰花栽培
养殖
M5.