发布时间:2023-09-02 21:44:06 人气:1890
洁净室满足洁净度要求的四个必要条件
为了在洁净室中取得良好的效果,国内外许多文献都从不同的角度进行了阐述。洁净室对于净化空调系统的加湿问题而言,常用的加湿方法有很多种,有淋水、湿膜、高压喷雾超声波等水加湿,这些加湿方法属等焓加湿过程。而喷蒸汽、喷干蒸汽和电极(电热)加湿是向空调送风中喷蒸汽,其加湿方法属等温加湿过程。无尘室净化工程中各级空气洁净度的空气净化处理,均应采用初效、中效、高效空气过滤器三级过滤。100000级空气净化处理,可采用亚高效空气过滤器代高效空气过滤器。净化工程指控制产品 (如硅芯片等) 所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能在一个良好的环境空间中生产、制造。此环境空间的设计施工过程即可称为净化工程。事实上,不同专业之间很难实现理想的合作,设计人员很难掌握施工安装质量、使用管理,尤其是后者。就洁净室的洁净措施而言,许多设计师或施工方往往对必要条件不够重视,导致洁净效果不理想。本文简要论述了洁净室净化措施中满足洁净度要求的四个必要条件。
一、送风洁净度
为了保证洁净空气的供应符合要求,关键是净化系统的性能和安装的上层过滤器。
净化系统的末级过滤器通常采用高效过滤器或亚高效过滤器.按照我国的标准,将高效过滤器分为4级:A级99.9%,B级99.99%,C类99.999%,D类99.999%(0.1μm颗粒),次高效过滤器2级95≤99.9%,0.5μm级。过滤器效率越高,成本就越高。因此,过滤器的选择既要满足空气洁净度的要求,又要考虑经济性和合理性。考虑到洁净度的要求,低品位洁净室选用低性能过滤器,高等级洁净室选用高性能过滤器。一般来说,100万级的高中滤清器可以选择,低于10000的班级可以选用次高效滤清器或A级过滤器;10 000~100级的班级可以选用B级滤清器;100≤1班可以选用C类过滤器。这里的每个洁净度级别似乎有两种类型的过滤器可供选择,高性能或低性能,视情况而定:当环境污染严重时,或者室内排气比例很大,或者洁净室特别重要,需要更大的安全因素,在这种情况下,选择更高类型的过滤器;相反,您可以选择性能较低的过滤器。对于需要由0.1μm颗粒控制的洁净室,无论控制的颗粒浓度如何,都应选择D类过滤器。从过滤器的角度来看,实际上,我们应该考虑洁净室、过滤和净化系统的特点[3]。
为保证空气供应的洁净度,只有合格的过滤器是不够的,还要保证:a.过滤器在运输和安装过程中没有损坏;b.关闭安装。要达到A,施工安装人员必须经过良好的培训,不仅要有净化系统安装的知识,而且还要有更熟练的安装技能。否则,很难确保滤清器没有损坏。在这方面有深刻的教训。其次,安装的紧密性主要取决于安装结构的类型。设计手册[4]一般建议单台过滤器采用敞开式安装,即使发生泄漏,也不会泄漏到内部;使用成品的高效出风口可以很容易地保证密封性。近年来,液槽密封和负压密封常用于多台过滤器的出风口。储液罐密封件必须确保水槽接头紧密,整个框架在同一水平面上。