发布时间:2023-08-30 21:45:27 人气:3571
一、温湿度
清洁室的温湿度重要是依据工艺请求来判断,但在满意工艺请求的前提下,应考虑到人的舒服度感。净化设备能够吸附、分解或转化各种空气污染源、空气污染物【室内生物性污染。主要包括细菌、真菌、霉菌、病毒、尘螨、花粉、宠物皮屑、生物体有机成分等),有效提高空气清洁度的产品,目前以清除室内空气污染的家用和工业净化设备为主。随着空气清洁度请求的进步,呈现了工艺对温湿度的请求也越来越严的趋势。因为加工精度越来越精巧,所以对温度稳定范畴的请求越来越小。直径100
um的硅片,温度回升1度,就引起了0.24um线性膨胀,所以必须有±0.1度的恒温,同时请求湿度值个别较低,因为人出汗当前,对产品将有沾染,特别
怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。
湿度过高产生的问题更多。绝对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,假如产生在精巧装置或
电路中,就会引起各种事变。绝对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片名义粘着的灰尘化学吸附在名义耐难以清除。绝对湿度越高,粘附的难去掉,但当绝对湿度低于30%时,又因为静电力的作用使粒子也轻易吸附于名义,同时大量半导体器件轻易产生击穿。
二、清洁度等级标准
我国于1984年颁布《清洁厂房设计标准》(GBJ73-84),1996年该标准进行了较大的修改,1990年
颁布《清洁室施工及验收标准》(JGJ71-90)以领导施工跟验收的重要文件。净化设备能够吸附、分解或转化各种空气污染源、空气污染物【室内生物性污染。主要包括细菌、真菌、霉菌、病毒、尘螨、花粉、宠物皮屑、生物体有机成分等),有效提高空气清洁度的产品,目前以清除室内空气污染的家用和工业净化设备为主。目前,该标准从新勘误2010版本。
GBJ73-84划定的清洁度等级
等级
每破方米(升)空气中》0.5μm尘粒数
每破方米(升)空气中》5μm尘粒数
100
《35*100(〈3.5〉
1000
《35*1000(〈35〉
《250(〈0.25〉
10000
《35*10000(〈350〉
《2500(〈2.5〉
100000
《35*100000(〈3500〉
《25000(〈25〉
三、面积
沾染工程面积的大小也决定其报价的多少,不同沾染等级每平方的报价也是有所不同的。等级越高的沾染工程(清洁室),每平方面积价格也是顺次往上递增,具体参数可能依据行业发展示状决定。当然,不同沾染公司,其沾染工程报价也是不尽一致的。
四、对设备是否有指定品牌
在承建一个沾染工程(清洁室)时,避免不了利用到各种沾染设备,而现今市场上生产沾染设备公司多不可数,品德也错落不齐。某些公司在沾染工程对设备品质请求严格,则依据所产生的本钱,报价也是会受到影响。
为什么同一个沾染工程,不同公司报出的价格会有很大的差距呢?从经济角度看,沾染工程(清洁室)装修市场的竞争重要是造价的竞争,谁在无尘室工程建设中既能确保工期、品质,又能重视本钱治理,把持跟掌握公道的造价,以最小的本钱,换取最大的效益,谁就能在清洁室范畴竞争中获取主动,走向胜利。
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