无尘车间净化等级划分依据？

　　(一)清洁室之等级
世界各国均有自定规格，但普遍还是用美国联邦标准209为多，以下仅就209D及209E跟世界上其它各国制订标准作介绍与彼此比较。净化设备能够吸附、分解或转化各种空气污染源、空气污染物【室内生物性污染。主要包括细菌、真菌、霉菌、病毒、尘螨、花粉、宠物皮屑、生物体有机成分等），有效提高空气清洁度的产品，目前以清除室内空气污染的家用和工业净化设备为主。
209E与209D等最大之不同在于209E表示单位增加了公制单位，清洁室等级以‵M′字头表示，如M1、M1.5、M2.5、M3….依此类推，配合国际公制单位之标准化，M字母后之阿拉伯数量字是以每破方公尺中>=0.5μm之微尘粒子数量字以10的幂次方表示，取指数为之，若微尘粒子数介于前后二者完全幂次方之间，则以1.5、2.5、3.5….表示。 清洁网z:Wg1pj
美国联邦标准FS 209D都以英制每破方英呎为单位，日本则是采取公制，即以每破方公尺为单位，以0.1μm微粒子为计数标准。日本标准之表示法以Class 1，Class 2，Class 3……Class8表示，最好的等级为Class 1，最差则为Class 8，以每破方公尺中微尘粒子总数中化为10的幂次方，取其指数而得。

　　(二)清洁室之定义
清洁室(Clean Room)，亦称为无尘室或清洁室。　「清洁室」是指将一定空间范畴内之空气中的微粒子、有害空气、细菌等之沾染物消除，并将室内之温度、清洁度、室内压力、气流速度与气流散布、噪音振动及照明、静电把持在某一须要范畴内，而所给予特别设计之房间。亦即是不管外在之空气前提如何变更，其室内均能俱有坚持原来所设定请求之清洁度、温湿度及压力等机能之特点。
清洁室最重要之作用在于把持产品(如硅芯片等)所接触之大气的清洁度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间咱们称之为「清洁室」。
　　(三)清洁室控管之名目

　　1. 能除去空气中飘游之微尘粒子。

　　2. 能避免微尘粒子之产生。

　　3. 温度跟湿度之把持。

　　4. 压力之调节。

　　5. 有害气体之消除。净化等级尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数,500，≥5μm尘粒数0，微生物最大允许数浮游菌/立方米5，沉降菌/皿1。

　　6. 结构物与隔间之气密性。

　　7. 静电之防制。

　　8. 电磁烦扰防备。

　　9. 保险因素之考虑。

　　10. 节能之考量。
　　(四)清洁室之分类1.乱流式(Turbulent Flow)
空气由空调箱经风管与清洁室内之空气过滤器(HEPA)进入清洁室，并由清洁室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型活动而呈不规矩之乱流或涡流状况。此型式实用于清洁室等级1,000-100,000级。
优点结构简单、体系建造本钱，清洁室之裁减比较轻易，在某些特别用处场合，可并用无尘工作台，进步清洁室等级。
毛病乱流造成的微尘粒子于室内空间飘浮不易排出，易沾染制程产品。另外若体系结束运行再激活，欲达须要之清洁度，往往须耗时相称长一段时光。 2.层流式(Laminar)
层流式空气气流活动成一均匀之直线形，空气由笼罩率100%之过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风，此型式实用于清洁室等级需定较高之环境利用，个别其清洁室等级为Class 1~100。其型式可分为二种

　　(1)水平层流式水平式空气自过滤器单方向吹出，由对边墙壁之回风体系回风，尘埃随风向排出室外，个别在下贱侧沾染较重大。
优点结构简单，运行后短时光内即可变成牢固。
毛病建造用度比乱流式高，室内空间不易裁减。

　　(2)垂直层流式房间天花板完全以ULPA过滤器笼罩，空气由上往下吹，可得较高之清洁度，在制程中或工作人员所产生的尘埃可疾速排出室外而不会影响其它工作区域。
优点治理轻易，运行开端短时光内即可达牢固状况，不易为作业状况或作业人员所影响。
毛病结构用度较高，弹性应用空间艰苦，天花板之吊架相称占空间，维修调换过滤器较麻烦。 3.复合式(Mixed Type)
复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可供给局部超清洁之空气。

　　(1)清洁隧道(Clean Tunnel)以HEPA或ULPA过滤器将制程区域或工作区域100%笼罩使清洁度等级进步至10级以上，可节俭装置运行用度。此型式需将作业人员之工作区与产品跟机器维修予以隔离，以避免机器维修时影响了工作及品德，ULSI制程大都采取此种型式。
清洁隧道另有二项优点A.弹性裁减轻易； B.维修设备时可在维修区轻易履行。

　　(2)清洁管道(Clean Tube)将产品流程经过的主动生产线包抄并沾染处理，将清洁度等级提至100级以上。净化设备能够吸附、分解或转化各种空气污染源、空气污染物【室内生物性污染。主要包括细菌、真菌、霉菌、病毒、尘螨、花粉、宠物皮屑、生物体有机成分等），有效提高空气清洁度的产品，目前以清除室内空气污染的家用和工业净化设备为主。因产品跟作业员及发尘环境彼此隔离，少量之送风即可得到良好之清洁度，可节俭能源，不需人工的主动化生产线为最适合利用。药品、食品业界及半导体业界均实用。

　　(3)并装局部清洁室(Clean Spot)将清洁室等级10,000~100,000之乱流清洁室内之产品制程区的清洁度等级进步为10~1000级以上，认为生产之用；清洁工作台、清洁工作棚、清洁风柜即属此类。
清洁工作台等级Class 1~100级。
清洁工作棚为在乱流式之清洁室空间内以防静电之透明塑料布围成一小空间，采取独破之HEPA或ULPA及空调送风机组而成为一较高等之清洁空间，其等级为10~1000级，高度在2.5米左右，笼罩面积约10m2以下，四支支柱并加装活动轮，可为弹性应用。