发布时间：2023-06-24 21:41:37 人气：2632
无尘室测试范围介绍
凡是和无尘室环境控制有关的因素，都在无尘室认证的范围之内。在无尘室完工之前，业主、施工单位、与测试单位‧应就以下几个主题做详细讨论并达成协议，以利测试进行。
待测无尘室涵盖范围、等级、面积、滤网位置、与数量
测试的目的
测试程序
使用仪器
测试报告撰写方式与内容
工期
在测试前，将以上项目定义清楚，可以使测试顺利进行，发现问题时也可以尽快排除，对业主和施工单位都有利。
IEST-0062有一个表说明测试项目，以及适用状态，具有相当参考价值表列如下。
IEST-RP-CC006.2 Table 1
章节 | 测试项目 | 单一流向型 | 非单一流向型 | 混合型 |
6.1 | 风量与均匀度 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.2 | 滤网泄漏 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
6.3 | 洁净度 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.4 | 压力 | 1,2 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.5 | 平行度 | 1,2 | N/A | OPT (1,2 only) |
6.6 | 空间泄漏 | 1,2 | 1,2 | 1,2 |
6.7 | 恢复率 | N/A | 1,2 | 1,2 |
6.8 | 粒子沉降测试 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.9 | 照度 | 1,OPT(2,3) | 1,OPT(2,3) | 1,OPT (2,3) |
6.10 | 噪音 | 1,2,3 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.11-6.13 | 温湿度 | 1,2,2 | 1,2,3 | 1,2,3 |
6.14 | 振动 | OPT | OPT | OPT |
测试的顺序没有硬性规定，但是仍旧存在某些比较理想的顺序
1:测试适用于As-built状态
2:测试适用于At-rest状态
3:测试适用于Operational状态
N/A:代表该测试在该状态下?不适用?
OPT:代表该测试在该状态下为?选择性测试?，可以视制程需求而定
由上表可看出，风量测试〈使用气罩〉适用任何状态，因为不易受干扰。
风速量测，在非单一流向型〈乱流型〉无尘室就不推荐，因为容易受干扰。当然这是IEST的建议，我们可以自行决定。
至于测试的项目选择，NEBB建议：依重要性分成三级，说明如下。
第一级〈Level I〉:第一级测试是所谓的主要测试，与洁净度直接有关的测试都属第一级，每个无尘室都应至少应做的测试。
第一级测试项目包括：
A.风速量测
B.风量量测
C.前两项的均匀度分析
D.滤网泄漏测试
E.洁净度测试
F.压力量测
第二级〈Level II〉:第二级测试，虽然也是与洁净度与气流有关，但是只有在特殊情况下才需要进行。
A.气流平行度量测〈只适用层流型〉
B.空间泄漏测试〈几乎已被压差测试取代〉
C.恢复率测试〈依建议只适用乱流型无尘室〉
D.粒子沉降测试〈近年来已经很少做〉
第三级〈Level III〉:第三级测试就与气流无关，都是属于环境因素。
A.照度与其均匀度
B.噪音测试
C.振动测试
D.温湿度测试
这里说明NEBB所要求无尘室性能测试的各项测试程序，当然这些程序是NEBB所认定的基本要求，业主可视状况自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改后的程序比较宽松，就不能说是符合NEBB标准。
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