电子行业洁净车间的静电防护问题电子行业洁净车间的静电防护问题
电子相关行业洁净车间中由于静电引起的事故屡有发生,因此洁净车间的防静电能力如何已成为
评价其质量的一个不可忽视的方面。
所谓静电,是由于摩擦等原因破坏了物体中正(+)负<一)电荷等量的均匀的电中性状态,而使电荷过剩,
物体呈带电状态,由于这些电荷平时是不流动的,故称静电。
在洁净车间内静电导致的事故有以下几方面
1.静电引起的静电电击,引起人的不安全和恐惧感,并可造成二次伤害(例如人因受电击而摔倒,由摔倒又致伤);
2.静电放电引起的放电电流,可导致诸如半导体元件等破坏和误动作,例如将50块P- MOS电路放在塑料
袋内,摇晃数次后,与非门栅极严重击穿者计39块,失效率竞达78%,这是因为半导体器件对静电放电十
分灵敏;
3.静电放电产生的电磁波可导致电子仪器和装置的杂音和误动作;
4.静电放电的发光可导致照相胶片等感光破坏;
5.静电的力学现象可导致筛孔被粉尘堵塞,纺纱线纷乱,印刷品深浅不均和制品污染;
静电事故的产生主要在于静电的产生和积累,而气流的流动,气流和管道、风口、过滤器等摩擦,人
体和衣服的摩擦,衣服之间的摩擦,工艺上的研磨,喷涂、射流、洗涤、搅拌、粘合和剥离等操作,所以
这些都可能产生静电,在一般情况下,越是电导率小的非导体(绝缘体),由于电荷产生后不易流动,因
此表现为越容易带电。静电问题所以在洁净车间中特别严重,是因为不但在洁净车间中具备前述产生静电
的多种工艺因素,而且因为洁净车间中的许多材料如塑料地面、墙面,尼龙、的确良等工作服都有很高的
电阻率,都容易产生静电和集聚静电,在洁净车间的静电灾害未被重视以前。